图 1 仅使用衍射电子信号的模拟的 Si EBSD 花样，每个像素点平均一个电子信号
图 2 未经过处理的 Be（顶部）和 Au（底部）EBSD 花样以及相应的 3D 强度分布图
图 3（左）每个像素平均 10 个电子的 EBSD 花样和（右）使用 13 pA 束流采集的 3D 打印的钢的 IPF 图
图 4 模拟 EBSD 的花样和图表，显示在不同 kV 下使用 100 pA 束流达到每个像素平均 50 个衍射电子所需要的衍射强度和曝光时间 ：假设使用理想的晶体、表面和检测效率。
图 5 实验测定的不同材料在恒定束流下的曝光时间
上述影响划定了分析部分金属材料所需的最小电子剂量极限值。矿物和陶瓷通常更轻，因此需要更多的信号。
含有有机成分的生物矿石和晶体材料，例如某些光伏钙钛矿，可能存在另一个复杂因素。很多情况下，有机材料存在于相关联的晶体之间或结合在晶体中。这种有机结构在暴露于高强度电子束下可能会分解，使材料结构产生变化或产生污染，会阻碍 EBSD 相和取向的分析。降低电子剂量可以减轻这些影响。
对低剂量 EBSD 分析的兴趣主要集中在两个主要应用上：最小化样品中的相互作用体积以提高空间分辨率和 ；实现电子束敏感材料的取向分析。在下面的示例中，使用了 Clarity EBSD 检测器。此外，应用离线 NPAR 处理以最大限度地提高表面粗糙区域的标定性能。
图 6 显示了 Atrina Pectinata 贝壳中从方解石到文石
图 6（左）EBSD 图像质量图，显示从柱状方解石（左下）到平面文石珍珠层（右上）的过渡区。（右）详细的反极图展示了在方解石-文石界面处的晶粒微观结构。
在方解石-文石界面处，存在方解石亚晶粒的复杂微观结构，与类似尺寸的文石颗粒息息相关。文石颗粒首先沿着方解石晶体的边缘生成，然后生成柱子的完整多晶覆盖层。最后，小文石晶体被等轴的平面文石晶体覆盖，形成光滑的珍珠层结构，覆盖在贝壳内部。使用 12 kV、250 pA 电子束观察方解石柱之间首先出现的文石（图 7）。
图 7（左）图像质量（IQ）图和（右）图像质量图叠加的方解石柱之间文石片晶的 IPF 图。
在研究钙钛矿材料的光电特性时，使用低剂量电子背散射衍射（EBSD）技术是非常关键的。这种技术能够在不显著影响材料结构的前提下，深入分析材料的微观结构。以下是对原文的重新表述：
图8展示了一种杂化钙钛矿材料（CsPbI3）的微观结构。通过扫描电子显微镜（SEM）图像，我们观察到在玻璃基板上形成的晶粒团簇，它们以中心点为中心，向外呈放射状排列。为了探究这些团簇是否保持了原始晶体的多个取向，或者是否在烧结过程中经历了完全的再结晶，我们采用了EBSD技术进行分析。
图8中的反极图（IPF）颜色映射显示，大多数晶粒团簇仅呈现单一颜色，这一现象表明它们已经经历了完整的再结晶过程。这种单一颜色的显示意味着团簇内的晶粒具有统一的晶体取向。
低剂量EBSD技术为我们提供了一种高效的方法，可以在最小化对材料造成损伤的同时，精确地表征钙钛矿材料的微观结构和晶体取向。这种技术的应用有助于我们深入理解材料的光电特性，并为进一步优化其性能提供了重要的科学依据。
通过这种细致的分析，研究人员能够更好地掌握材料的晶体生长机制，以及烧结过程中可能发生的结构变化，从而为改进钙钛矿材料的光电性能提供了重要的指导。
图 8. 使用 15 kV 和 300 pA 电子束采集的 CsPbI3 杂化钙钛矿的（左）SEM 图像和（右）IPF 图。较大的晶粒是正交相；在这些晶粒之间，观察到小部分立方相。
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