芯片开封的定义
芯片开封,即Decap,是一种对完整封装的集成电路(IC)芯片进行局部处理的工艺。其目的是去除芯片的封装外壳,暴露出芯片内部结构,同时确保芯片功能不受损。
芯片开封是芯片故障分析实验的重要准备环节,能够保护芯片的Die、bond pads、bond wires及lead等关键部分,为后续的失效分析测试提供便利,便于进行热点定位、聚焦离子束(FIB)等测试操作。
芯片开封的方法
1.激光开封
激光开封是利用激光束的能量作用于芯片塑封表面,通过气化作用去除器件填充料。这种方法具有显著优势,操作速度快,过程简便,且相对安全,无危险性。激光开封能够精准地去除封装材料,而不会对芯片内部结构造成不必要的损伤,因此在芯片开封领域得到了广泛应用。金鉴激光开封塑封器件服务可开封高达99%的封装材料,服务于半导体功率器件开封,同时保持芯片功能的完整无损, 保持芯片、键合线材乃至引线框架不受损伤, 为下一步器件失效分析实验做准备。
2.化学腐蚀
化学腐蚀则依赖于特定的化学试剂,如浓硫酸、盐酸、发烟硝酸、氢氟酸等。其中,98%的浓硫酸常用于腐蚀易溶于丙酮的低分子化合物。在超声波的辅助作用下,这些低分子化合物被清洗掉,从而暴露出芯片晶圆表层,实现对芯片内部结构的观察和分析。化学腐蚀方法虽然有效,但操作过程中需要注意化学试剂的安全性,避免对人员和设备造成伤害。
化学开封主要适用于 COB(板上芯片封装)、QFP(四边扁平封装)、QFN(无引脚四方扁平封装)、DIP(双列直插式封装)等塑料材料的封装类型。通过化学开封,可以较为彻底地去除封装材料,为后续的检测工作创造良好的条件。
芯片封装的材料构成
芯片开封的作用


发表评论 取消回复