X-Ray检测技术自20世纪70年代开始应用于工业领域以来，凭借其在微米范围内对材料缺陷分析的高精度优势，逐渐成为无损检测领域的重要技术手段。随着电子产品的微小化以及对元部件可靠性要求的不断提高，X-Ray检测技术在材料无损检测中的应用日益广泛，并且随着技术的不断革新，其应用范围也在持续拓展。<svg viewbox="0 0 1 1" style="float:left;line-height:0;width:0;vertical-align:top;" role="img" aria-label="插图"></svg>微焦点X-Ray检测的核心原理是利用X射线穿透待检样品，并在图像探测器上形成放大的X光图像。图像的质量主要由分辨率和对比度两个关键因素决定。成像系统的分辨率，即图像的清晰度，主要取决于X射线源的焦斑大小、X光路的几何放大率以及探测器像素的大小。微焦点X光管的焦斑可以小至几个微米，X光路的几何放大率可达到10~2500倍，而探测器像素的尺寸可小到几十微米。这些因素共同作用，使得微焦点X-Ray检测能够在高放大率下实现微米范围内的清晰成像。成像系统的对比度则取决于图像探测器的探测效率、电子学系统的信噪比以及合适的X射线能量。目前，一般的X射线成像技术能够获得优于1%的对比度，这使得微焦点X-Ray检测能够有效区分材料内部的微小差异，从而实现对材料缺陷的精准检测。<svg viewbox="0 0 1 1" style="float:left;line-height:0;width:0;vertical-align:top;" role="img" aria-label="插图"></svg>
<svg viewbox="0 0 1 1" style="float:left;line-height:0;width:0;vertical-align:top;" role="img" aria-label="插图"></svg>1. 胶片探测器
缺点：一次性、高成本、耗时、化学污染。
2. 数字成像技术
优势：快速、低成本、可存储、无化学废物，支持放大与自动分析。
3. 技术演进
①线性二极管阵列：灵活尺寸，但高速扫描精度受限。
②CR（计算机射线成像）：可重复使用的光感屏，需中间读取步骤。
③平板探测器（非晶硅/非晶硒）：大尺寸、高分辨率，前者速度快，后者精度高。
④CMOS线性阵列：高分辨率，速度介于非晶硅与非晶硒之间。
<svg viewbox="0 0 1 1" style="float:left;line-height:0;width:0;vertical-align:top;" role="img" aria-label="插图"></svg>- 1895年：伦琴发现X射线，早期用于医学与工业检测（如锅炉）。
- 1990年代后：数字平板技术（非晶硅/硒、CMOS）取代胶片，高效、高精度。
目前，非晶硒和非晶硅是主流数字平板技术，前者空间分辨率高，后者成像速度快。此外，CMOS X射线平板技术也具高能量耐受性和高分辨率等优势。<svg viewbox="0 0 1 1" style="float:left;line-height:0;width:0;vertical-align:top;" role="img" aria-label="插图"></svg>
案例：MiniLED倒装芯片焊接缺陷检测
委托单位送测MiniLED灯珠进行X-RAY检测，排查倒装芯片是否存在焊接缺陷，结果显示芯片焊接存在空洞异常，其中负极焊盘的空洞比正极更为显著。<svg viewbox="0 0 1 1" style="float:left;line-height:0;width:0;vertical-align:top;" role="img" aria-label="插图"></svg>微焦点X-Ray检测技术凭借其高分辨率和高对比度的优势，在材料无损检测领域得到了广泛应用。未来，随着技术的进一步革新，微焦点X-Ray检测技术将在更多工业领域发挥重要作用，为提高产品质量和可靠性提供有力支持。
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