金属银在氩离子抛光后的SEM晶格图

金属银在氩离子抛光后的SEM晶格图

氩离子抛光技术则是通过对样品表面进行抛光，去除损伤层，从而获得高质量的样品表面。这种技术广泛应用于扫描电子显微镜（SEM）、光学显微镜、扫描探针显微镜等设备的成像分析中，也可用于电子衍射（EDS）、电子背散射衍射（EBSD）、阴极荧光（CL）、电子束诱导电流（EBIC）等分析手段。

1.锂电池电极材料的内部结构观察

锂电池电极材料的内部结构对其性能有着至关重要的影响。通过氩离子抛光技术制备的截面样品，可以清晰地观察到锂电池正负电极材料的内部结构。这种技术能够揭示电极材料的真实结构和孔隙度，而孔隙度的测量对于判断锂电池材料的吸液性以及循环寿命具有重要意义。

氩离子抛光技术能够有效去除样品表面的损伤层，使内部结构清晰可见，为锂电池材料的研究提供了重要的技术支持。

2.制样方法的探讨

相比之下，氩离子抛光技术能够高效地制备大面积的截面样品，且成本相对较低，适合大规模的样品分析。

1.石墨极片的氩离子抛光截面制样

某石墨生产厂家委托实验室对其石墨极片进行氩离子抛光截面制样。通过氩离子抛光技术，可以清晰地观察到电极材料涂片的内部结构。抛光前，由于样品是用剪刀剪切而成，截面上的损伤层较大，无法看清真实的内部结构。

2.磷酸铁锂表面形貌的观察

在另一项研究中，涂覆磷酸铁锂的锂电池材料极片经过氩离子抛光切割后，其扫描电镜（SEM）效果图显示了清晰的表面形貌。这种技术能够有效去除表面损伤层，使材料的真实结构得以展现，为锂电池材料的性能研究提供了重要的微观结构信息。

氩离子技术在其他领域的应用