电子背散射衍射（EBSD）技术在材料科学领域的重要性日益凸显，它通过分析材料表面的电子背散射衍射图样，为我们提供了关于材料晶体结构和取向的丰富信息。这种技术的应用范围广泛，从晶粒尺寸和形状的确定到晶体结构取向的分析，再到织构、应变分布和晶界性质的研究，EBSD技术都能提供深入的洞察。

金鉴作为国内领先的光电半导体检测实验室，金鉴实验室的EBSD技术，以其高效的速度和精准的分辨率，在材料表征领域中展现出卓越的性能，为材料科学研究提供了强有力的工具。

EBSD技术的核心优势在于其与扫描电子显微镜（SEM）的无缝结合，这使得它在样品分析的效率和准确性上具有显著优势。在SEM中，当高能电子束与材料相互作用时，会产生背散射电子，这些电子的衍射图样包含了材料晶体结构的信息。EBSD技术通过捕捉这些衍射图样，并利用先进的图像处理算法，能够精确地确定晶体的取向和结构。

此外，EBSD技术的制样过程相对简单且成本较低，这使得它在材料科学研究中更加实用。传统的材料表征技术，如透射电子显微镜（TEM）和X射线衍射（XRD），往往需要复杂的样品制备过程和高昂的设备成本。相比之下，EBSD技术只需要将材料表面抛光至一定程度的平滑度，即可进行分析，大大简化了实验流程。

EBSD技术的高分辨率特性使其能够在微观尺度上捕捉材料的晶粒取向分布和织构演化。这一点在材料设计和性能优化中至关重要，因为材料的微观结构直接影响其宏观性能。例如，在金属材料的加工过程中，通过控制晶粒的取向和大小，可以显著影响材料的强度、韧性和导电性。

在实际应用中，EBSD技术被用于揭示材料在特定处理后的各向异性，如冲压或拉拔过程中晶粒取向的变化。通过对极图和取向成像图的分析，EBSD技术能够定性和定量地评估材料的织构。织构是指材料中晶粒取向的非随机分布，这种分布会影响材料的力学性能和加工性能。EBSD技术通过提供高分辨率的应力应变状态信息，有助于理解材料的力学行为，从而指导材料的加工和应用。

最新的研究进展表明，EBSD技术在相变织构的研究中发挥着重要作用。相变织构是指在相变过程中形成的具有特定取向关系的晶体结构。例如，在电工钢中，表面效应会引发相变织构，从而影响材料的磁性能。在纯钛中，相变织构的形成与晶面间距差异引起的弹性应力有关。而在高锰TRIP钢中，相变织构则与位错滑动和局部应力集中相关。这些发现为材料的微观结构设计提供了新的视角。

TC18 钛合金锻棒中心区 EBSD 取向成像

TA2 纯钛加热到 920℃的"相区压缩 60%后，淬水快冷得到的相变织构，保温 15 min;(a)取向成像图，全部为!相;(b) !取向的{0002}、{11 ’20}、{10 ’10}极图，表明形成了 ＜11 ’20 ＞ | |压缩轴的柱面织构。

TA2 纯钛加热到 880℃!相区保温 15 min，60%压缩并淬水的形变织构(a)取向成像图(颜色代表压缩轴方向的取向，参照反极图图标);(b)!相的{0001}、{1120}、{1010}极图。

Fe －0. 46Mn 钢冷轧 78%(0. 50 mm 厚)快速加热到 960℃相变，保温 3 分后氢气下 300℃ /h控冷相变后的取向分布信息(a)取向成像图及颜色与板法向取向图标;(b)菊池带质量图(红色为)3 晶界);(c) * 2 =45°ODF 图。

氧化物分散强化（ODS）合金具有出色的抗蠕变性、高温微观结构稳定性和辐照抗性，因此在高温应用中具有广阔前景。然而，由于氧化物颗粒容易聚集在金属基体晶界上，导致对金属基体机械性能的改善有限。本研究采用了一种独特的内部合成的氧化物@W核壳纳米粉作为前驱体，来制备W基ODS合金。

经过低温烧结和高能率锻造，高密度的氧化物纳米颗粒均匀地分散在W晶粒中，同时晶间的氧化物颗粒完全消失。因此，通过这种方法制备的合金在室温下实现了显著提升的强度、韧性和延展性。这项研究中使用的核壳粉前驱体制备高性能ODS合金的策略有可能被应用于其他分散强化的合金体系。

制备的ODS钨基合金中钨晶粒的明场TEM、HAADF-STEM图片，以及钨基体和氧化物颗粒原子分辨率的HAADF-STEM图片和FFT图片

制备的ODS钨基合金中钨晶粒的EBSD表征。IPF图、晶粒图、晶界分布图、KAM图、晶粒尺寸分布图以及晶界取向偏差分布图