EBSD技术简述

于 2024-09-09 20:45:01 发布 285 阅读 0 评论

电子背散射衍射(EBSD)是一种先进的晶体学分析技术,它通过分析材料表面的背散射电子衍射图样来研究材料的晶体结构。这项技术在材料科学领域内有着广泛的应用,能够帮助科研人员评估材料的质量和适用性。


英国牛津集团的Link-OPAL公司开发了一种EBSD结晶学分析系统,该系统在硅片上铝连线的取向分析中得到了成功应用,用于评估材料的质量。该系统利用CCD探测器和数据处理计算机,扫描并记录样品表面的背散射电子衍射图样,通过分析不同晶体取向的图像来获取晶体结构信息。EBSD技术不仅能够揭示晶粒组织、晶界和裂纹等微观结构特征,还能用于测定材料的织构和晶体取向。金鉴作为国内领先的光电半导体检测实验室,金鉴实验室的EBSD技术,以其高效的速度和精准的分辨率,在材料表征领域中展现出卓越的性能,为材料科学研究提供了强有力的工具。


为了实现更全面的晶体学分析,EBSD技术可以通过增加一个能够使样品倾斜约70度的装置来扩展其功能,这种技术被称为晶体学取向成像电子显微术(OIM)。OIM技术可以在扫描电子显微镜(SEM)上实现,通过扫描和记录样品表面的背散射电子衍射图样,对样品的不同晶体取向进行分类成像,从而获得更详尽的晶体结构信息。OIM技术的应用前景广阔,有潜力成为SEM的一个标准组件。


总体而言,EBSD技术是材料科学研究中不可或缺的工具,它能够提供关于材料质量和适用性的重要信息。随着OIM技术的不断进步,我们有望获得更加精确和详细的晶体结构数据,这对于推动材料科学的发展具有重大意义。

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