扫描电镜（SEM）是一种利用电子束对样品进行高分辨率成像的仪器。它通过电子束与样品相互作用产生的信号来形成图像，这些信号可以是二次电子、背散射电子等。金鉴实验室提供全套Dual Beam FIB-SEM服务，以促进对材料失效的深度分析和研究。其服务内容涵盖透射电子显微镜（TEM）样品的制备、微观结构的截面切割与观察、样本的精细刻蚀与图案沉积，以及材料的三维形态构建和深入分析。

在SEM中，电子透镜起着至关重要的作用，它们负责将电子束聚焦到样品表面，以实现高分辨率的成像。

（a）电子束导向板和（b）静电透镜

电子透镜的工作原理基于电子在电场或磁场中的偏转。以下是几种常见的电子透镜类型及其工作原理的简要概述：

1. 静电透镜：由金属板构成，这些金属板连接到高电压电源。电子在通过这些板时会受到电场的影响而发生偏转。根据板的配置和电压，静电透镜可以加速或减速电子，从而实现聚焦。

单孔径正负透镜（a,b），双孔透镜（c）和三孔径Einzel透镜（d）

2. 单孔透镜：由一个中心孔的金属板构成，电子通过孔中心时会汇聚或发散，取决于板的极性。

3. 双孔透镜：由两个对准的金属板构成，电子在穿过两个孔时会受到电场的作用，使电子束聚焦。

4. Einzel透镜：由三个对齐的孔构成，通常前两个和最后一个孔是正极，中间孔是负极，这样的配置使得电子束在通过透镜后聚焦。

5. 电磁透镜：利用磁场来偏转电子。它由一个铁磁材料构成的线圈产生磁场，电子在通过磁场时会受到洛伦兹力的作用而偏转。

在SEM中，电子源产生的电子束首先通过一系列的透镜系统，这些透镜可以是静电透镜也可以是电磁透镜，它们共同作用于电子束，使其聚焦并扫描样品表面。物镜是最后一组透镜，它直接对准样品，负责最终的聚焦和成像。