氩离子抛光的特点

于 2024-08-12 16:23:36 发布 116 阅读 0 评论

氩离子抛光技术:高效与精细的结合


氩离子抛光系统,以其高效能的离子枪和精细的抛光效果,为材料表面处理提供了一种全新的解决方案。该系统配备了两个具有低能量聚集能力的离子枪,能够实现快速而温和的抛光过程。离子束能量低至100eV,特别适合于需要精细处理的样品,同时保持了抛光效率。

系统特点


抛光前- 俯视SEM图样品 抛光90S后SEM图样品

1. 高效抛光:新型低能聚焦电极保证了离子束直径的恒定,提高了抛光速率。

2. 精准对中:独立调节的离子枪确保了离子束能精确对中样品。

3. 灵活操作:操作者可随时调整枪的角度,并通过触摸屏手动或自动调节气体流量,优化工作电流。

4. 气锁装置:实现快速样品交换,同时维持高真空环境。

5. 全面控制:10英寸触摸屏提供系统控制与监测。

6. 一键操作:配方模式控制界面简化了操作流程。

7. 精确控制:质量流量控制器确保了氩离子电流的精确和可重复性。

8. 耐用设计:离子枪设计无需更换零件,寿命长达30,000小时以上。

9. 样品/挡板配置:简化装样过程,确保再次抛光的准确性。

10. 离子束调制:支持扇形和平面抛光,增加了操作的灵活性。

技术参数


1. 离子枪:高性能三元构造,无需耗材。

2. 抛光角度:独立调节,范围从+10°至-10°。

3. 离子束能量:可调节范围100 V至8.0 kV。

4. 离子束流密度:峰值达10 mA/cm²。

5. 抛光速度:对硅试样在8.0 kV条件下可达300 μm/h。

6. 样品装载:特制挡板简化装样过程,确保重复使用和位置准确性。

7. 样品旋转:速度0.5至6rpm,连续可调。

8. 束流调制:独特功能支持扇形和平面抛光。

9. 液氮冷台:最低可达-120°C,减少样品损伤。

10. 干泵系统:两级隔膜泵与涡轮分子泵搭配,提供高效抽真空能力。

11. 压力范围:基本压力5x10^-6托,工作压力8.5x10^-5托。

12. 真空规:冷阴极型和固体型,分别用于主样品室和前级机械泵。

13. 样品空气锁:设计独特,更换样品时间短,无需破坏真空环境。

14. 触摸屏控制:10英寸触摸屏,支持全面程序化控制。

应用领域


氩离子抛光系统广泛应用于EBSD样品制备、截面样品制备,以及金属材料、石油地质岩石矿物、光电材料、化工高分子材料、新能源电池材料和电子半导体器件的表面处理。金鉴实验室作为一家提供检测、鉴定、认证和研发服务的第三方检测与分析机构,在氩离子抛光制样方面拥有丰富的经验和卓越的技术实力。实验室配备了先进的测试设备和严格的质量控制流程,能够为客户提供高标准的氩离子抛光制样服务。


PCB电路版截面抛光SEM图

镀锌钢板截面抛光

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