EBSD是扫描电子显微镜的附件之一，可提供包括晶间取向、晶界类型、再结晶晶粒、微观组织、相辨识和晶粒尺寸测量等在内的完整分析数据。金鉴实验室现有两台TF20场发射透射电镜，配备能谱仪，可用于无机材料微结构与微区组成的分析和研究，还提供全面的材料分析解决方案，包括但不限于EBSD、X射线衍射、扫描电子显微镜等技术，可以满足对材料特性全面了解的需求。EBSD数据来源于样品表面下10-50纳米厚的区域，因此在进行EBSD样品检测时，需要将样品倾斜70°，以避免表面上方区域遮挡下方的信号。为确保获得准确可靠的数据，EBSD样品表面必须具备良好的导电性、平整度和无应力等特性。
在样品制备方面，首先需要采用线切割法取样，避开有缺陷的区域并选择代表性的部位。试样应为导电材料，厚度应在0.5毫米至3毫米之间。将样品放入电镜时通常会将其粘附在样品台上，若需要考察样品在特定方向上的性能，则需要将样品的轧向或受力方向与样品台的X轴平行。
其次，抛光是样品制备过程中的关键步骤之一。常见的抛光方法包括机械抛光、电解抛光、聚焦离子束（FIB）和氩离子抛光等。氩离子抛光在EBSD检测中对晶粒特别细小、多相材料以及易氧化材料具有显著优势，因为它能利用高电流密度的氩离子束对样品进行减薄，避免制样过程对实验数据造成误导。
钢样品相分布图示意图
最后，在EBSD的具体分析功能方面，主要包括微观组织分析和取向分析。微观组织分析主要通过分析取向分布图来实现，其中不同颜色的晶粒代表不同的取向，晶粒的形状和大小反映了材料的变形或再结晶情况。通过分析相邻晶粒的夹角可以确定晶界类型，并用不同的颜色标识晶界。取向分析涵盖了相邻晶粒的取向分析、晶粒与相邻孪晶的取向分析、孪晶及其相邻孪晶的取向分析、织构分析以及取向差分析等内容。
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